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你真的了解油扩散真空泵吗?一起看看吧
点击次数:21 发布时间:2019-04-13
   你真的了解油扩散真空泵吗?一起看看吧
  油扩散真空泵简称油扩散泵,是用来获得高真空或超高真空的主要设备。它的工作压力范围为10-2Pa至10-5Pa,极限压力一般为7x10-6Pa。若通过高温烘烤除气后更可获得10-8Pa的真空度。泵的抽速大,抽速范围宽(几升每秒至十几万升每秒)。其特点是结构简单,没有机械运动部件,使用寿命长,可靠性高,操作与维护方便等。它广泛用于电子工业、化学工业、真空冶金、真空热处理、真空镀膜设备、原子能工业以及空间模拟设备等高科技领域中。
  油扩散真空泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气流导管和加热器等。泵油在真空中加热到沸腾温度(约200℃),产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于油扩散真空泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力,所以被抽气体分子就不断地扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子,使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来,再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩,由前级真空泵抽走。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热,如此循环工作。
  油扩散真空泵以罗茨旋片机组作为预抽,主体及挡板均有改进,使得在较低真空领域抽速有较大成度增加。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵(前级泵)等组成高真空抽气系统,可获得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得装置,以及其它需要在10-1 --10-4帕的低气压(高真空)环境下工作的真空系统的配套设备。
  油扩散真空泵特点是抽气能力大,抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择;并可长时间稳定连续工作。油扩散真空泵被广泛地应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。典型真空机组是用气动阀门程序控制。如需其他驱动方法,请在订货时注明。
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